- Trasferimento sottovuoto
- Movimento del wafer
- Controllo della pressione
- Riduzione della contaminazione
- Interfaccia di carico/scarico
- Flusso ripetibile
Descrizione
La piattaforma di trasferimento sottovuoto SIASUN Diagram 600 consente lo spostamento dei wafer tra le interfacce di carico/scarico e i moduli di processo basati sul sottovuoto. Mantiene condizioni di pressione controllate per ridurre la contaminazione.
Utilizzata principalmente per il trasferimento dei wafer all’interno di apparecchiature per semiconduttori, a supporto di flussi di produzione ripetibili.
Il modello Diagram 600 è destinato ad applicazioni di trasferimento sottovuoto nei settori dei semiconduttori, della ricerca e industriale.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Schema 600 |
|---|---|
| Tipo di robot | Piattaforma di trasferimento sottovuoto |
| Destinazione d'uso | Trasferimento di semiconduttori |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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Il modello SIASUN Diagram 600 è una piattaforma di trasferimento sottovuoto per lo spostamento dei wafer nelle apparecchiature per semiconduttori. Pressione controllata per flussi di produzione privi di contaminazione.
Schema della piattaforma di trasferimento sottovuoto SIASUN 600 è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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Schema della piattaforma di trasferimento sottovuoto SIASUN 600
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