- Trasmissione diretta, senza cinghie Una struttura motore senza ingranaggi né cinghie riduce il gioco e i punti di usura meccanica per un movimento di trasferimento più fluido e affidabile.
- Adatto all'ambiente sotto vuoto Costruito per bassa generazione di particelle e degassamento controllato, così i wafer attraversano gli impianti sotto vuoto senza interrompere l'ambiente controllato.
- Movimentazione di substrati sensibili Trasferisce i wafer tra load lock, camere di trasferimento e moduli di processo come stazioni di deposizione, incisione e metrologia.
- Movimento a vibrazioni controllate Il movimento è tarato per ridurre al minimo le vibrazioni durante prelievo, deposito e transito, proteggendo substrati di alto valore.
- Controllo pronto all'integrazione Fornito con controllore di movimento e interfacce I/O, incluso un modulo I/O aggiornato, per il collegamento agli interblocchi dell'impianto e ai segnali di fabbrica.
- Trasferimento ripetibile ad alta produttività La movimentazione costante dell'organo terminale supporta ripetibilità, produttività e controllo della contaminazione negli impianti di processo dei semiconduttori.
Descrizione
Il SIASUN Vacuum Robot Phoenix è un robot di trasferimento sotto vuoto per la produzione di semiconduttori e camere bianche, progettato per spostare wafer e altri substrati sensibili tra load lock, camere di trasferimento e moduli di processo come stazioni di deposizione, incisione e metrologia, senza interrompere l'ambiente controllato. Il suo movimento è tarato per un trasferimento stabile e fluido in condizioni di vuoto, dove bassa generazione di particelle, degassamento controllato e controllo delle vibrazioni sono cruciali per proteggere substrati di alto valore.
Il Phoenix utilizza un'architettura a trasmissione diretta che riduce la dipendenza da ingranaggi e cinghie, diminuendo il gioco e i punti di usura meccanica per un movimento più fluido e ripetibile. Fornito come piattaforma pronta all'integrazione con controllore di movimento e interfacce I/O, è adatto ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei semiconduttori, nelle camere bianche e nell'industria, dove contano ripetibilità, produttività e controllo della contaminazione. Contattaci per specifiche dettagliate, prezzi e disponibilità.
Caratteristiche
Specifiche
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modello | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Tipo di robot | Robot di trasferimento wafer sotto vuoto |
| Architettura di trasmissione | Trasmissione diretta, senza ingranaggi né cinghie |
| Ambiente | Vuoto / camera bianca (impianti per semiconduttori) |
| Movimentazione | Wafer e substrati sensibili tramite lama dell'organo terminale |
| Controllo e I/O | Controllore di movimento con modulo I/O integrato per l'integrazione nell'impianto |
| Applicazioni tipiche | Trasferimento per deposizione, incisione e metrologia negli impianti di processo dei semiconduttori |
Settori industriali
Domande frequenti
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È un robot di trasferimento sotto vuoto che sposta wafer e altri substrati sensibili tra load lock, camere di trasferimento e moduli di processo come stazioni di deposizione, incisione e metrologia, senza interrompere l'ambiente sotto vuoto controllato.
La sua struttura a trasmissione diretta, senza ingranaggi né cinghie, elimina i componenti di trasmissione intermedi, riducendo il gioco e i punti di usura meccanica e favorendo un movimento più fluido e ripetibile per il trasferimento di precisione.
Sì. Il Phoenix viene fornito come piattaforma pronta all'integrazione con controllore di movimento e interfacce I/O, incluso un modulo I/O aggiornato, per il collegamento agli interblocchi dell'impianto e ai segnali di automazione di fabbrica. Le specifiche numeriche dettagliate sono fornite per configurazione.
Sì. Robotix Market rifornisce aziende in tutto il mondo con fatturazione e supporto post-vendita. Contattaci per un preventivo.
Robot per vuoto SIASUN Phoenix
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