- Chambres à vide
- Modules de transfert
- Substrats délicats
- Haute répétabilité
- Axé sur le débit
- Contrôle de la contamination
Description
Le robot sous vide SIASUN SM14 fonctionne à travers ou à l'intérieur des chambres à vide et des modules de transfert compatibles avec le vide. Il déplace des substrats délicats entre les postes de procédé avec une grande répétabilité.
Technologie clé pour les fabs modernes et les lignes avancées de procédés sous vide où le débit et le contrôle de la contamination sont essentiels.
Le SM14 répond aux applications de transfert sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | SM14 |
|---|---|
| Type de robot | Transfert sous vide |
| Usage prévu | Lignes sous vide d'usine |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN SM14 Vacuum Robot transfère les substrats délicats dans les chambres et modules sous vide. Automatisation à haute répétabilité pour le débit des fabs et le contrôle de la contamination.
Robot sous vide SIASUN SM14 convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Robot sous vide SIASUN SM14
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