Le robot sous vide SIASUN SM14 fonctionne à travers ou à l'intérieur des chambres à vide et des modules de transfert compatibles avec le vide. Il déplace des substrats délicats entre les postes de procédé avec une grande répétabilité.

Technologie clé pour les fabs modernes et les lignes avancées de procédés sous vide où le débit et le contrôle de la contamination sont essentiels.

Le SM14 répond aux applications de transfert sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.

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