- Transferencia en vacío
- Movimiento de obleas
- Control de presión
- Reducción de la contaminación
- Interfaz de carga/descarga
- Flujo repetible
Descripción
La SIASUN Diagram 600 Vacuum Transfer Platform permite el movimiento de obleas entre interfaces de carga/descarga y módulos de proceso en vacío. Mantiene condiciones de presión controladas para reducir la contaminación.
Se utiliza principalmente para la transferencia de obleas dentro de equipos de semiconductores, en apoyo de flujos de producción repetibles.
La Diagram 600 atiende aplicaciones de transferencia en vacío en semiconductores, investigación e industria.
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Características
Especificaciones
| Modelo | Diagram 600 |
|---|---|
| Tipo de robot | Plataforma de transferencia en vacío |
| Uso previsto | Transferencia de semiconductores |
| Marca | SIASUN |
Sectores
Preguntas frecuentes
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El SIASUN Diagram 600 es una plataforma de transferencia en vacío para el movimiento de obleas en equipos de semiconductores. Presión controlada para flujos de producción sin contaminación.
SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600 es ideal para aplicaciones en los sectores Industrial.
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