- Vacuum manipulator
- Cluster tools
- Deposition/etch
- Load locks
- Metrology stations
- Vacuum conditions
Descripción
El manipulador de vacío SIASUN serie PHOENIX PLUS opera dentro de equipos de proceso al vacío como las herramientas cluster para deposición, grabado o procesos al vacío relacionados.
Transfiere obleas o sustratos entre esclusas de carga, módulos de proceso y estaciones de metrología manteniendo condiciones de vacío controladas.
La serie Phoenix Plus atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor e industrial.
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Características
Especificaciones
Sectores
Manipulador de vacío SIASUN serie Phoenix Plus
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Robotic Arm
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