- 200mm/300mm wafers
- 0.5kg payload
- Compact design
- High-speed
- High cleanliness
- FOUP/cassette interface
Descripción
El manipulador atmosférico SIASUN Blade-DD250 admite los formatos de oblea Φ200mm y Φ300mm con carga útil ≤0.5kg. Se posiciona como una solución de transferencia compacta, de alta velocidad y alta limpieza.
Se utiliza en las interfaces entre herramientas de proceso, puertos de carga y casetes/FOUP en la automatización de fábricas con salas limpias.
El Blade-DD250 atiende aplicaciones de manipulación atmosférica en los sectores semiconductor e industrial.
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Características
Especificaciones
Sectores
Manipulador atmosférico SIASUN Blade DD250
- Precio regular
- Precio bajo consulta
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Robotic Arm
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