- Közvetlen hajtás, szíj nélkül A fogaskerék és szíj nélküli motorszerkezet csökkenti a holtjátékot és a mechanikai kopáspontokat az egyenletesebb, megbízhatóbb átadási mozgásért.
- Vákuumkörnyezetre méretezve Alacsony részecskekibocsátásra és szabályozott gázleadásra készült, így a waferek a szabályozott környezet megbontása nélkül haladnak át a vákuumos berendezéseken.
- Érzékeny hordozók kezelése Wafereket továbbít zsilipkamrák, transzferkamrák és folyamatmodulok — például leválasztó, maró és metrológiai állomások — között.
- Rezgéskontrollált mozgás A mozgás a felvétel, lehelyezés és áthaladás közbeni rezgések minimalizálására van hangolva, védve a nagy értékű hordozókat.
- Integrációra kész vezérlés Mozgásvezérlővel és I/O interfészekkel — köztük frissített I/O modullal — szállítjuk a berendezésszintű reteszelésekhez és gyári jelekhez való csatlakozáshoz.
- Ismételhető, nagy átbocsátású átadás A végeffektor következetes anyagkezelése támogatja az ismételhetőséget, az átbocsátást és a szennyeződéskontrollt a félvezető-feldolgozó berendezésekben.
Leírás
A SIASUN Vacuum Robot Phoenix vákuumos transzferrobot a félvezető- és tisztatéri gyártáshoz, amelyet arra terveztek, hogy wafereket és más érzékeny hordozókat mozgasson zsilipkamrák, transzferkamrák és folyamatmodulok — például leválasztó, maró és metrológiai állomások — között a szabályozott környezet megbontása nélkül. Mozgása a vákuumkörülmények közötti stabil, egyenletes átadásra van hangolva, ahol az alacsony részecskekibocsátás, a szabályozott gázleadás és a rezgéskontroll kritikus a nagy értékű hordozók védelméhez.
A Phoenix közvetlen hajtású architektúrát használ, amely csökkenti a fogaskerekektől és szíjaktól való függést, mérsékelve a holtjátékot és a mechanikai kopáspontokat az egyenletesebb, jobban ismételhető mozgás érdekében. Integrációra kész platformként, mozgásvezérlővel és I/O interfészekkel szállítva alkalmas félvezetőipari, tisztatéri és ipari vákuumos anyagmozgatási alkalmazásokra, ahol az ismételhetőség, az átbocsátás és a szennyeződéskontroll számít. Vegye fel velünk a kapcsolatot a részletes műszaki adatokért, az árakért és az elérhetőségért.
Jellemzők
Műszaki adatok
| Márka | SIASUN |
|---|---|
| Modell | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Robottípus | Vákuumos wafertranszfer-robot |
| Hajtásarchitektúra | Közvetlen hajtás, fogaskerék és szíj nélkül |
| Környezet | Vákuum / tisztatér (félvezetőipari berendezések) |
| Anyagkezelés | Waferek és érzékeny hordozók végeffektor-lapáttal |
| Vezérlés és I/O | Mozgásvezérlő integrált I/O modullal a berendezésintegrációhoz |
| Jellemző alkalmazások | Leválasztási, marási és metrológiai transzfer félvezető-feldolgozó berendezésekben |
Iparágak
Gyakran ismételt kérdések
Vegye fel velünk a kapcsolatot az aktuális árakért, az elérhetőségért és a SIASUN Vacuum Robot Phoenix személyre szabott ajánlatáért.
Vákuumos transzferrobot, amely wafereket és más érzékeny hordozókat mozgat zsilipkamrák, transzferkamrák és folyamatmodulok — például leválasztó, maró és metrológiai állomások — között a szabályozott vákuumkörnyezet megbontása nélkül.
A fogaskerék és szíj nélküli, közvetlen hajtású szerkezet kiiktatja a közbenső erőátviteli elemeket, csökkenti a holtjátékot és a mechanikai kopáspontokat, és egyenletesebb, jobban ismételhető mozgást tesz lehetővé a precíziós átadáshoz.
Igen. A Phoenix integrációra kész platformként érkezik mozgásvezérlővel és I/O interfészekkel — köztük frissített I/O modullal — a berendezésszintű reteszelésekhez és a gyári automatizálási jelekhez való csatlakozáshoz. A részletes számszerű műszaki adatokat konfigurációnként adjuk meg.
Igen. A Robotix Market világszerte kiszolgál vállalkozásokat, számlázással és értékesítés utáni támogatással. Vegye fel velünk a kapcsolatot ajánlatért.
Legutóbb megtekintett
Még nem tekintett meg egyetlen terméket sem.
