- Vakuumkammern
- Transfermodule
- Empfindliche Substrate
- Hohe Wiederholgenauigkeit
- Fokus auf Durchsatz
- Kontaminationskontrolle
Beschreibung
Der SIASUN SM14 Vakuumroboter arbeitet durch oder innerhalb von Vakuumkammern und vakuumkompatiblen Transfermodulen. Bewegt empfindliche Substrate zwischen Prozessstationen mit hoher Wiederholgenauigkeit.
Eine Schlüsseltechnologie für moderne Fabs und fortschrittliche Vakuumprozesslinien, in denen Durchsatz und Kontaminationskontrolle entscheidend sind.
Der SM14 wird für Vakuumtransfer in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | SM14 |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuumtransfer |
| Verwendungszweck | Fab-Vakuumlinien |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Der SIASUN SM14 Vacuum Robot transferiert empfindliche Substrate in Vakuumkammern und Modulen. Hochwiederholgenaue Automatisierung für Fab-Durchsatz und Kontaminationskontrolle.
SIASUN Vakuumroboter SM14 eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vakuumroboter SM14
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