- 200mm/300mm Wafer
- 0.5kg Traglast
- Kompaktes Design
- Hohe Geschwindigkeit
- Hohe Reinheit
- FOUP-/Kassetten-Schnittstelle
Beschreibung
Der SIASUN Blade-DD250 Atmosphären-Manipulator unterstützt Φ200mm- und Φ300mm Waferformate mit ≤0.5kg Traglast. Positioniert als kompakte, schnelle, hochreine Transferlösung.
Eingesetzt an Schnittstellen zwischen Prozessanlagen, Load-Ports und Kassetten/FOUPs in der Reinraum-Fabrikautomatisierung.
Der Blade-DD250 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Blade-DD250 |
|---|---|
| Wafergröße | Φ200mm, Φ300mm |
| Nutzlast | ≤0.5kg |
| Robotertyp | Atmosphärischer Manipulator |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Der SIASUN Blade-DD250 handhabt 200mm- und 300mm-Wafer bei ≤0.5kg Traglast. Kompakter atmosphärischer Hochgeschwindigkeitstransfer für die Reinraum-Fabrikautomatisierung.
SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade DD250 eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade DD250
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