تُعد وحدة SIASUN-TSS-3000 EFEM (وحدة الواجهة الأمامية للمعدات) بمثابة واجهة تحكم بين عمليات نقل المواد داخل المصنع وعمليات النقل الداخلية لأدوات التصنيع. وتقوم بتنسيق عمليات تحميل الرقائق، ومحاذاتها/تسليمها، ونقلها.

يحافظ على التحكم في التلوث واتصالات المعدات الموحدة في مصانع رقائق أشباه الموصلات.

يخدم TSS-3000 تطبيقات أشباه الموصلات واللوجستيات ومعالجة الرقائق الصناعية.

اتصل بنا لمعرفة الأسعار والتوافر.