- Câmaras de vácuo
- Módulos de transferência
- Substratos delicados
- Elevada repetibilidade
- Foco na produtividade
- Controlo da contaminação
Descrição
O robô de vácuo SIASUN SM14 opera através de, ou no interior de, câmaras de vácuo e módulos de transferência compatíveis com vácuo. Transporta substratos delicados entre estações de processo com elevada repetibilidade.
Tecnologia essencial para fábricas modernas e linhas avançadas de processamento a vácuo, onde o rendimento e o controlo da contaminação são fundamentais.
O SM14 destina-se a aplicações de transferência a vácuo na indústria de semicondutores e na indústria em geral.
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Características
Especificações
| Modelo | SM14 |
|---|---|
| Tipo de robô | Transferência por vácuo |
| Utilização prevista | Linhas de vácuo da Fab |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O robô a vácuo SIASUN SM14 transfere substratos delicados em câmaras e módulos de vácuo. Automatização com elevada repetibilidade para aumentar a produtividade da fábrica e controlar a contaminação.
Robô a vácuo SIASUN SM14 é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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