- Interface de front-end EFEM Liga o sistema de transporte de materiais da fábrica ao ambiente de transferência interno do equipamento de processo para uma entrega padronizada de bolachas.
- Design compatível com SEMI Apresentado como um sistema de interface compatível com as normas SEMI para a comunicação e integração de equipamentos.
- Robô de transferência de duplo braço Um robô de duplo braço com um eixo externo proporciona um movimento de bolachas de elevada eficiência no front-end do equipamento.
- Pegada compacta A arquitetura de pegada reduzida adequa-se a front-ends de equipamentos de fab com espaço limitado.
- Coordenação de transporte flexível Movimenta bolachas manualmente ou em coordenação com o transporte de fábrica, como os sistemas aéreos.
- Controlo da contaminação Suporta transferências de bolachas repetíveis, reduzindo ao mesmo tempo o contacto do operador com os substratos críticos.
Descrição
O SIASUN TSS-3000 é um EFEM (Equipment Front End Module) para o fabrico de semicondutores, que funciona como interface controlada entre o sistema de transporte de materiais de uma fab e o ambiente de transferência interno de um equipamento de processo. Coordena o carregamento, o alinhamento e a entrega de bolachas, ajudando ao mesmo tempo a manter o controlo da contaminação e uma comunicação de equipamentos padronizada e compatível com SEMI.
Concebido com uma pegada reduzida, o TSS-3000 utiliza um robô de transferência de duplo braço com um eixo externo para movimentar bolachas manualmente ou em coordenação com o transporte de fábrica, como os sistemas aéreos, suportando um manuseamento de bolachas de elevada eficiência e repetível no front-end do equipamento. É adequado a ambientes de fab de bolachas em sala limpa onde são exigidas interfaces padronizadas e um contacto reduzido do operador com os substratos críticos. Contacte-nos para obter preços e disponibilidade.
Características
Especificações
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modelo | TSS-3000 |
| Tipo de robô | EFEM (Equipment Front End Module) / sistema de transferência de bolachas de front-end |
| Interface | Interface de front-end compatível com SEMI |
| Robô de transferência | Robô de duplo braço com um eixo externo |
| Pegada | Compacta / pegada reduzida |
| Operação | Manual ou coordenada com o transporte de fábrica (p. ex. sistemas aéreos) |
| Aplicações típicas | Manuseamento no front-end de fab de bolachas, carregamento e alinhamento/entrega de bolachas |
Setores
Perguntas frequentes
Contacte-nos para obter preços atuais, disponibilidade e um orçamento à medida para o SIASUN Truss Robot.
É um robô de pórtico cartesiano para o manuseamento repetível de materiais, sobretudo a carga e descarga de máquinas CNC, as transferências entre operações e as linhas de automação de processos no chão de fábrica.
Sim. Com o seu amplo envelope de trabalho e o comprimento de carril escalável, um único robô de pórtico pode servir várias máquinas CNC ou postos de trabalho, reduzindo o número de dispositivos de manuseamento autónomos.
A sua interface de efetor final aceita garras pneumáticas ou servo, ventosas, garras magnéticas e trocadores de ferramenta, podendo ser configurado para o manuseamento de peças, superfícies planas ou ferrosas e células multioperação.
Sim. A Robotix Market fornece empresas em todo o mundo, com faturação e apoio pós-venda. Contacte-nos para um orçamento.
Robô de manuseamento de wafers SIASUN TSS-3000 EFEM
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