- Vacuum transfer
- Wafer movement
- Pressure control
- Contamination reduction
- Load/unload interface
- Repeatable flow
Beschrijving
Het SIASUN Diagram 600 Vacuum Transfer Platform maakt waferverplaatsing mogelijk tussen laad-/losinterfaces en vacuümgebaseerde procesmodules. Handhaaft gecontroleerde drukcondities om contaminatie te verminderen.
Voornamelijk gebruikt voor wafertransfer binnen halfgeleiderapparatuur ter ondersteuning van herhaalbare productiestromen.
De Diagram 600 is geschikt voor vacuümtransfertoepassingen in halfgeleiders, onderzoek en industrie.
Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
Sectoren
SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600
- Regular price
- Prijs op aanvraag
In Stock
Automation Systems
Recent bekeken
You haven't viewed any products yet.
